イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
Home > 出展者一覧 > 株式会社片桐エンジニアリング
装置・デバイス・ロボット・AI
愛知県

株式会社片桐エンジニアリング

小間NM-13
プレNM-13

MVPプロセス装置を用いた超高速DLC成膜技術と超高速膜剥離技術

小ロット多品種の超高速処理

出展ゾーン
NEDOゾーン
出展分野
装置・デバイス・ロボット・AI
小間番号
NM-13
NEDOプレゼンテーション
NM-13
8月31日(木)
NEDOプレゼンテーション 会場2
14:00

出展概要

製品・技術の名称
MVP超高速プラズマ処理装置とその応用技術

 

展示の概要
名古屋大学が開発したMVP(Microwave-sheath Voltage combination Plasma)法により生成される超高密度プラズマを用いた超高速プラズマ処理装置の実用化開発、及び応用用途開発について紹介いたします。
応用用途① 超高速DLC成膜
応用用途② 超硬工具にほどこされたコーテイング膜の高速除膜

 

コアの技術・特許情報
MVP(Microwave-sheath Voltage combination Plasma)法は基材に対して負の電圧を印加することで、基材表面にマイクロ波伝搬を可能にし、基材近傍に高密度プラズマの生成する新しいプラズマ発生法です。この発生方法を用いたプラズマCVD法で、DLCの超高速成膜膜(120μm/h以上)を達成しています。
日本国特許第4152135号
日本国特許第4973887号

 

特徴・ポイント
1)本超高速処理装置を用いることで、多品種小ロット処理品の歩留まりが大幅に向上。
2)大型装置と比較して装置導入コストが1/4。
3)DLC成膜の超高速成膜(120μm/h以上)が可能。
4)プラズマを用いることで基材へのダメージの少ない工具表面被膜の除膜が可能。

 

想定される提供先・提供先へのメリット
♢プラズマ処理分野(DLC成膜分野)
 超高速プラズマ処理による処理時間短縮、多品種小ロット処理品の歩留まり向上
♢ご提供先:表面被膜メーカー
 再被膜に行う除膜工程時間の短縮および剥離剤等による基材へのダメージの減少

 

主な実績
・MVPプロセス装置、MVP-DLC成膜装置の試作機の製造実績(6台)(2011年~)
・名古屋大学と本装置の共同研究開発・実用化開発(2015年~)
・各種プラズマ装置(CVD、エッチング装置など)の開発・設計・製造実績(約5台/年)

 

 

MVPプロセス装置

膜剥離放電の様子

出展者プロフィール

真空装置プラズマ処理装置の開発・設計・製造技術で、お客様のアイデアを形にします。
大学、研究所、企業など向けに研究開発装置のカスタマイズを行います。
大気圧から高真空において、プラズマプロセス応用(エッチング、成膜、表面処理)を実現します。

お問い合わせ先

株式会社片桐エンジニアリング 技術開発部

電話:052-739-2628   FAX:052-739-2634  

URLまたはメールアドレス:http://www.kk-eng.co.jp

プライバシーポリシー
Copyright © 2017   イノベーション・ジャパン2017運営事務局 All Rights Reserved.

PageTop