イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
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ナノテクノロジー

北見工業大学 工学部 地域未来デザイン工学科

杉坂純一郎 助教

小間N-01

ホログラムを利用した小型かつシンプルな極微細加工技術

Kitami Institute of Technology

Assistant professor Jun-ichiro Sugisaka

Inexpensive nanofabrication technology with simple mechanism by using a quasicrystal hologram

9 産業と技術革新の 基盤をつくろう
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
ナノテクノロジー
小間番号
N-01

展示概要

技術概要
単純な機構で、ナノメートルスケールの微細加工を実現する技術を提供する。既存のフォトリソグラフィー技術が、フォトマスクと縮小投影光学系を用いて微細像を作り出し、加工対象の物体にパターンを転写するのに対し、本技術では1枚のホログラム素子で微細な像を生成し、加工を行う。このホログラムは、準周期構造と呼ばれる特殊な幾何学パターンから構成されており、フォトマスクと投影光学系両方の機能を併せ持つ。そのため、ホログラム単独で、使用する光源の回折限界に匹敵する解像度での微細加工が可能となる。

想定される活用例
・半導体素子の加工のためのリソグラフィー技術
・レーザー加工(マイクロ流路、医療治具等の微細加工)
・並列アクセス可能な光記録技術
・生体等複雑な部位への光・X線照射

 

展示のみどころ
最先端の半導体露光装置に匹敵する微細加工が単純な装置で実現できることを、実際に試作したホログラムを展示しながら紹介する。あらゆる分野の微細加工およびその他の様々な光技術におけるニーズに対して、研究の最新技術を紹介しながら、いくつもの応用例や問題解決の可能性を提案する。

特許情報

特許情報1 発明の名称
(出願中)微細光学像生成素子及び微細光学像生成装置
特許情報1 出願人
国立大学法人北見工業大学
特許情報1 発明者
杉坂純一郎、安井崇、平山浩一
特許情報1 出願日
2016/12/16
特許情報1 出願番号
特願2016-244003

お問い合わせ先

北見工業大学 研究協力課

電話:0157-26-9158   FAX:0157-26-9155  

URL:http://www.kitami-it.ac.jp/

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