イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
Home > 出展者一覧 > 山梨大学 大学院総合研究部 工学域 機械工学系(情報メカトロニクス)
装置・デバイス

山梨大学 大学院総合研究部 工学域 機械工学系(情報メカトロニクス)

金 蓮花 准教授

小間M-38

広範囲・高分解能・高精度イメジングエリプソメータ

University of Yamanashi

Associate professor JIN Lianhua

Imaging ellipsometer with high resolution and high accuracy for wide field view

9 産業と技術革新の 基盤をつくろう
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
装置・デバイス
小間番号
M-38

展示概要

技術概要
エリプソメータは,材料分野やバイオセンサ分野や半導体分野等で,被検試料の薄膜厚さや屈折率の測定機器として使用されている.現在のエリプソメータのほとんどは点計測用である.つまり,一回の測定で,被検試料上の一ヶ所しか測定できない.本技術は,広範囲の被検試料の薄膜厚さや屈折率の2次元情報を高分解能・高精度で一括測定する方法である.広範囲・高分解能の測定を実現するために,従来の試料走査法の代わりにイメージング光学系を用いる.また、高精度で定量的な測定のため,光学系に存在する様々な製造誤差・設計誤差を補償している.

想定される活用例
・広範囲に加工されたパターンの一括測定
・複雑な構造をもつ材料の検査・評価
・線幅測定技術(Optical critical dimension)に繋がる

 

展示のみどころ
イメージングエリプソメータの新たな測定原理・光学設計・誤差分析・測定例について詳しく説明する.

特許情報

特許情報1 発明の名称
誤差補正方法及び二次元偏光解析法、並びに誤差補正装置及び二次元偏光解析装置
特許情報1 出願人
国立大学法人山梨大学
特許情報1 発明者
金 蓮花
特許情報1 出願日
2017/2/17
特許情報1 出願番号
特願2017-027524

お問い合わせ先

山梨大学 研究推進・社会連携機構

電話:055-220-8758   FAX:055-220-8757  

URL:http://www.scrs.yamanashi.ac.jp/

プライバシーポリシー
Copyright © 2017   イノベーション・ジャパン2017運営事務局 All Rights Reserved.

PageTop