イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
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ナノテクノロジー

東京農工大学 大学院工学研究院 先端物理工学部門

宮地 悟代 准教授

小間N-12
プレ0831-東1-B-08

ナノサイズの周期構造を形成できるレーザー加工技術

Tokyo University of Agriculture and Technology

Associate Professor Godai Miyaji

Laser material processing technique for nanostructure formation

9 産業と技術革新の 基盤をつくろう
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
ナノテクノロジー
小間番号
N-12
JSTショートプレゼン
0831-東1-B-08
8月31日(木)
JSTショートプレゼン東1-B
11:10

展示概要

技術概要
レーザー光を固体表面に照射するだけで、直接表面を微細に除去加工し、数10nmから数100nmの間隔の周期構造体を形成できる技術である。半導体デバイス製造等で一般的に用いられる、マスクを用いたエッチング法のような微細加工技術では、上記大きさの周期構造体を高アスペクト比で、かつ、メートルサイズの加工領域に均一に行うことは非常に難しい。本技術は、大気中や液中でも最大でアスペクト比6程度の加工をマスクレスで可能であるのに加え、レーザー光を固体表面に掃引照射するだけで原理的には加工面積に制限がないのが特徴である。

想定される活用例
大面積に均一なナノ構造体が必要な分野に有効である。電子デバイスや光デバイス製造への応用が考えられ、例えば、ナノインプリント用の金型、半導体配線の微細化、メタマテリアル表面、着色剤を用いない発色表面など。

 

展示のみどころ
実際に本技術を用いてGaN、ステンレス鋼、TiNなどの試料を加工している状況を解説付きでビデオ動画で紹介する。合わせて、加工した試料を展示する。パネルでは、加工手順と展示資料の表面形状を示し、詳細を写真とイラスト等を使ってわかりやすく解説する。

 

GaNへの適用例

GaNへの適用例

本技術と他技術の比較

本技術と他技術の比較

特許情報

特許情報1 発明の名称
超短パルスレーザを用いた微細加工方法、導出装置、加工装置および加工物
特許情報1 出願人
国立大学法人東京農工大学
特許情報1 発明者
宮地 悟代、宮崎 健創
特許情報1 出願日
出願中未公開
特許情報1 出願番号

お問い合わせ先

東京農工大学 先端産学連携研究推進センター

電話:042-388-7550   FAX:042-388-7553  

URL:http://www.rd.tuat.ac.jp/urac/index.html

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