イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
Home > 出展者一覧 > 高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所 放射光科学第一
装置・デバイス

高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所 放射光科学第一

菊地 貴司 技師

小間M-05
プレ0831-東1-B-40

非蒸発ゲッター(NEG)コーティング

High Energy Accelerator Research Organization

Engineer Kikuchi, Takashi

New non-evaporable getter (NEG) coating

9 産業と技術革新の 基盤をつくろう
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
装置・デバイス
小間番号
M-05
JSTショートプレゼン
0831-東1-B-40
8月31日(木)
JSTショートプレゼン東1-B
14:20

共同研究者

高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所
准教授 間瀬一彦

展示概要

技術概要
従来の非蒸発ゲッター(NEG)コーティングには活性化温度が高い(Ti-Zr-Vで180℃以上24時間)、活性化と大気ベントを繰り返すと排気性能が低下する、大掛かりな設備が必要で高コスト、CERNのライセンスが必要といった問題がありました。そこで我々は真空容器の内面に超高真空中でのTi昇華により厚さ1μmのTi薄膜を成膜し、Pd昇華により厚さ1 nmのPdで覆うという新しいNEGコーティング法を開発し、活性化条件を100℃~150℃、12時間まで改善しました。また、活性化と大気ベントを6回繰り返しても排気性能が劣化しないことを確認しました。

想定される活用例
・超高真空部品、超高真空装置全般。
・加速器、蓄積リング、放射光ビームライン。
・電子顕微鏡、光電子分光装置。
・半導体、ディスプレイ等製造用超高真空装置。

 

展示のみどころ
真空容器内壁に非蒸発ゲッター(NEG)コーティングを施し、100℃~150℃で加熱することにより、真空容器そのものを真空ポンプにすることができます。このため、超高真空を維持するために従来使用されていたイオンポンプやNEGポンプを用いなくても超高真空を維持できます。本技術を電子顕微鏡、光電子分光装置、加速器、半導体製造装置、ディスプレイ製造装置等に応用すれば、大幅なコスト削減と真空排気時間の短縮を実現できます。

 

非蒸発ゲッターの原理

非蒸発ゲッターの原理

非蒸発ゲッターコート前(左)とコート後(右)の真空ベローズ

非蒸発ゲッターコート前(左)とコート後(右)の真空ベローズ

特許情報

特許情報1 発明の名称
非蒸発型ゲッタポンプ
特許情報1 出願人
大学共同利用法人高エネルギー加速器研究機構
特許情報1 発明者
間瀬一彦、菊地貴司
特許情報1 出願日
2015/11/30
特許情報1 出願番号
特願2015-233674
特許情報2 発明の名称
非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置
特許情報2 出願人
大学共同利用法人高エネルギー加速器研究機構
特許情報2 発明者
間瀬一彦、菊地貴司
特許情報2 出願日
2016/11/28
特許情報2 出願番号
特願2016-230510

お問い合わせ先

間瀬一彦

電話:029-879-6107   FAX:029-864-2801  

URL:http://www2.kek.jp/imss/pf/

プライバシーポリシー
Copyright © 2017   イノベーション・ジャパン2017運営事務局 All Rights Reserved.

PageTop