イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
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ナノテクノロジー

工学院大学 先進工学部 応用物理学科

永井 裕己 助教

小間N-08
プレ0831-東1-B-05

分子プレカーサー法によるカーボンナノチューブ含有銅薄膜の形成

Kogakuin University

Assistant professor Hiroki Nagai

Fabrication of CNT/Cu composite thin films using molecular precursor method

9 産業と技術革新の 基盤をつくろう
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
ナノテクノロジー
小間番号
N-08
JSTショートプレゼン
0831-東1-B-05
8月31日(木)
JSTショートプレゼン東1-B
10:50

共同研究者

工学院大学 先進工学部
教授 佐藤光史

展示概要

技術概要
ULSI デバイスには,銅配線が適用されています。ULSIの高集積化により,配線に流れる電流密度は上昇し,近年,高集積化は限界を迎えると予測されています。カーボンナノチューブ(CNT)を含有した銅は,銅単独に比べて3桁以上高い電流密度を流すことが報告され,ULSIの新配線材料として期待されています。分子プレカーサー法は,溶液の塗布と熱処理のみで,均一な銅薄膜を形成できる化学的湿式法です。CNTを分散させた分子プレカーサー溶液を新たに調製し,溶液の塗布,熱処理のみでCNTを含有する銅薄膜の形成を達成しました。本展示では,世界に先駆けてこの技術を公開します。

想定される活用例
・トレンチ内のCNT含有銅形成
・複雑形状へのCNT含有銅膜形成

 

展示のみどころ
分子プレカーサー法の原理・特徴から,CNT含有銅薄膜形成までの流れを詳しく説明します。また,形成したCNT含有銅薄膜の基礎データを説明します。

特許情報

特許情報1 発明の名称
金属膜形成用組成物および金属膜形成方法
特許情報1 出願人
特許情報1 発明者
佐藤 光史 / 永井 裕己
特許情報1 出願日
未公開
特許情報1 出願番号
未公開

お問い合わせ先

工学院大学 研究戦略部 研究推進課

電話:042-628-4940   FAX:042-628-6726  

URL:http://www.kogakuin.ac.jp/

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