イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
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マテリアル・リサイクル

工学院大学 総合研究所 総合研究所

相川 慎也 准教授

小間Z-07

既存材料ITOを凌駕する超透明な酸化物導電膜

Kogakuin University

Associate Professor AIKAWA, Shinya

Ultra-transparent conductive oxide films that can be superior to conventional material ITO

12 つくる責任 つかう責任
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
マテリアル・リサイクル
小間番号
Z-07

展示概要

技術概要
現行の透明導電膜材料として,スズドープ酸化インジウム(ITO)が用いられている.既存ITOは透明性に限界があり,パターニングによってパターンされた領域が視認可能となる外観上の課題を有する.このため,既存ITOに匹敵する導電性を持ちながらも透明性に優れる新材料開発が希求されている.ここでは,母材の酸化インジウムにホウ素やシリコンなどイオン半径の小さい元素をドープすることで,透明性に優れる導電性酸化物材料を紹介する.この透明導電膜材料は,室温スパッタ成膜が可能であり,既存製造ラインがそのまま使えるため,ITO代替材料として検討されているグラフェンに対して,プロセス面で格段に優位性がある.

想定される活用例
・タッチパネル用透明電極
・有機ELディスプレイ・液晶ディスプレイ用透明電極
・太陽電池用透明電極

 

展示のみどころ
ガラス基板上およびプラスチック基板上に成膜した既存ITOおよび開発透明導電膜を比較展示し,開発材料の優れた透明性を実感していただきます.

 

ガラス基板上に室温スパッタ成膜した従来透明導電膜(左)と開発透明導電膜(右)

ガラス基板上に室温スパッタ成膜した従来透明導電膜(左)と開発透明導電膜(右)

特許情報

特許情報1 発明の名称
酸化物半導体およびその製法
特許情報1 出願人
国立研究開発法人物質・材料研究機構
特許情報1 発明者
相川慎也,他
特許情報1 出願日
2014/1/31
特許情報1 出願番号
特願2014-016631
特許情報2 発明の名称
ドーピング方法、導電性構造体の製造方法、繊維状構造の製造方法、及び薄膜トランジスタの製造方法
特許情報2 出願人
学校法人 工学院大学
特許情報2 発明者
相川慎也,他
特許情報2 出願日
未公開
特許情報2 出願番号
特許情報3 発明の名称
透明導電膜材料、および透明導電膜の製造方法
特許情報3 出願人
学校法人 工学院大学
特許情報3 発明者
相川慎也
特許情報3 出願日
出願準備中
特許情報3 出願番号

お問い合わせ先

工学院大学 研究戦略部 研究推進課

電話:042-628-4940   FAX:042-626-6726  

URL:http://www.kogakuin.ac.jp/

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