イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
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ナノテクノロジー

筑波大学 システム情報系 構造エネルギー工学域

阿部 豊 教授

小間N-06
プレ0831-東1-B-04

ベンチュリ管を用いた洗浄技術

University of Tsukuba

Professor Yutaka Abe

Cleaning technology with a Venturi tube

13 気候変動に 具体的な対策を
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
ナノテクノロジー
小間番号
N-06
JSTショートプレゼン
0831-東1-B-04
8月31日(木)
JSTショートプレゼン東1-B
10:45

展示概要

技術概要
半導体プロセスを含めた微細加工産業における洗浄技術は、有機溶剤や強アルカリを用いており、廃液費用や人体への負荷など問題点が顕在化している。
本洗浄技術は、ベンチュリ管を用いたオゾンマイクロバブル生成技術とスピン洗浄技術を融合した新たな洗浄手法である。オゾンガスを溶解性に富むマイクロバブルにして、高酸化作用を持つオゾン水を連続的に生成、このオゾン水を効率良く、洗浄物の界面反応に寄与させるスピン洗浄を行う。本手法で得られた高い洗浄能力により、既存の薬液との置換えなどが可能となる。

想定される活用例
・各種洗浄工程及び液体,気体を利用する生産工程
・光学機器加工産業,電子機器製造産業,精密機械加工産業

 

展示のみどころ
オゾンマイクロバブル発生装置による高機能洗浄デモンストレーション

特許情報

特許情報1 発明の名称
フォトレジスト除去装置
特許情報1 出願人
国立大学法人 筑波大学
特許情報1 発明者
阿部 豊、藤森 憲、池 昌俊
特許情報1 出願日
2007/6/12
特許情報1 出願番号
特願2007-154757 (特許第5006111号)
特許情報2 発明の名称
フォトレジスト除去方法
特許情報2 出願人
国立大学法人 筑波大学
特許情報2 発明者
阿部 豊、藤森 憲、池 昌俊
特許情報2 出願日
2007/6/12
特許情報2 出願番号
特願2007-154758 (特許第5006112号)
特許情報3 発明の名称
洗浄装置および洗浄方法
特許情報3 出願人
国立大学法人 筑波大学
特許情報3 発明者
阿部 豊、池 昌俊
特許情報3 出願日
2013/8/28
特許情報3 出願番号
特願2013-177309

お問い合わせ先

筑波大学 国際産学連携本部

電話:029-859-1490   FAX:029-859-1693  

URL:http://www.sanrenhonbu.tsukuba.ac.jp/

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