イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
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ナノテクノロジー

兵庫県立大学 大学院工学研究科 電気物性工学専攻

古賀 麻由子 准教授

小間N-33

レーザー熱CVDによる微細アルミニウム部品製作

University of Hyogo

Associate Professor Mayuko Koga

Fabrication of alminium fine parts by using laser thermal CVD

7 エネルギーをみんなに そしてクリーンに
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
ナノテクノロジー
小間番号
N-33

展示概要

技術概要
新エネルギーとして注目されている核融合の方式の一つである高速点火方式では、球状燃料容器に円錐状部品(コーン)を取り付けたターゲットを用いる。このコーンの先端の破壊を防止するためにアルミニウムで出来た微小部品を取り付けることが提案されている。我々はレーザー熱CVDによりこの部品を製作することを試みている。真空チャンバー内に材料ガスとしてTMA (Tri Methyl Aluminium) を含んだアルゴンガスを導入し、基板にレーザーを照射して加熱、熱分解によりアルミを析出させる。現在レーザー条件を検討し、析出物の形状制御を目指している。

想定される活用例
・微細金属部品の大量生産
・3Dレーザープリンター

 

展示のみどころ
レーザーの照射条件によって変わる析出物の形状を紹介

 

析出したアルミニウムの例

析出したアルミニウムの例

お問い合わせ先

兵庫県立大学産学連携・研究推進機構

電話:079-283-4560   FAX:079-283-4561  

URL:http://www.u-hyogo.ac.jp/research/

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