イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
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装置・デバイス

兵庫県立大学 大学院工学研究科 材料・放射光工学専攻

盛谷 浩右 准教授

小間M-60
プレ0901-東1-A-25

新原理マスフィルターによる巨大クラスターの高精度質量分布測定

University of Hyogo

Associate professor Kousuke Moritani

New Mass Filter for Accurate Mass Distribution Measurement of Large Clusters

9 産業と技術革新の 基盤をつくろう
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
装置・デバイス
小間番号
M-60
JSTショートプレゼン
0901-東1-A-25
9月1日(金)
JSTショートプレゼン東1-A
12:50

共同研究者

東京理科大学 総合研究機構
講師 野島雅

合同会社オフィスタンデム
代表 堀田昌直

展示概要

技術概要
本技術は、周期的に回転する電場(Rotary Electoric Fields; REF)内でイオンが行うサイクロイド運動を利用して質量を分離する、新しい原理の質量分離器(マスフィルター)である。この方式では、すべての質量のイオンが一定の分解能で正確に分離できる。よって、低質量から高質量まで幅広い質量分布を持つ高分子やクラスターの、正確な質量分布を測定することができる。また、連続イオンビームの質量分離が可能である。よって、高質量イオンビームのコンパクトサイズ質量選別器としての応用も期待される。

想定される活用例
・高分子や巨大クラスターの、高速かつ正確な質量分布測定
・スパッタ装置やSIMS装置における巨大クラスターイオンビームの精密マスフィルター
・半導体プロセス用高質量イオン注入装置

 

展示のみどころ
これまでに開発してきた、回転電場(REF)方式マスフィルターの実機(第1号試作機)を展示する。また、この装置を用いて測定したArクラスターの質量分布データを示し、従来の飛行時間(TOF)方式による測定データと比較する。REF方式マスフィルターの、圧倒的なコンパクトさと広いマスレンジを実感していただきたい。

特許情報

特許情報1 発明の名称
二連回転電場質量分析器
特許情報1 出願人
堀田昌直 、足立達哉
特許情報1 発明者
堀田昌直 、足立達哉
特許情報1 出願日
2014/2/7
特許情報1 出願番号
2015-539324

お問い合わせ先

兵庫県立大学 産学連携・研究推進機構

電話:079-283-4560   FAX:079-283-4561  

URL:http://www.u-hyogo.ac.jp/research/

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