イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
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装置・デバイス

兵庫県立大学 大学院工学研究科 電気物性工学専攻

菊池 祐介 准教授

小間M-64
プレ0901-東1-A-29

SiC搭載インバータを用いた高繰り返しナノパルスプラズマによる高速DLC成膜

University of Hyogo

Associate Professor Yusuke Kikuchi

High-speed preparation of a DLC film using a high-repetition nano-pulse plasma with an SiC-based inverter

12 つくる責任 つかう責任
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
装置・デバイス
小間番号
M-64
JSTショートプレゼン
0901-東1-A-29
9月1日(金)
JSTショートプレゼン東1-A
13:15

展示概要

技術概要
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は高硬度,低摩擦,ガスバリア性等優れた特性を有しており,機械部品へのコーティング等で実用化されている。一方,従来の低ガス圧プラズマCVDによるDLC成膜技術の成膜速度は0.01 μm/min程度と低く,DLCの適用先が限られていた。本技術では,最新のSiC-MOSFETインバータ電源を用いて,パルス幅180 ns,繰返し周波数300 kHzの準大気圧ナノ秒パルスプラズマを生成し,これまでに成膜速度0.1 μm/min,硬度13 GPaのDLC成膜を実現した。

想定される活用例
・自動車部品のコーディング
・燃料電池のDLC被膜金属セパレータ

 

展示のみどころ
次世代パワー半導体のSiCを用いたインバータ電源を大気圧・準大気圧プラズマ生成に適用した高繰り返しナノ秒パルスプラズマによる高速DLC成膜技術について展示する。プラズマ発光分光計測によりアフターグロープラズマを評価し,成膜メカニズムも議論できる。DLC成膜のみならず,プラズマ窒化や基板洗浄・表面改質技術についても適用可能である。

 

SiC搭載インバータ電源を用いた準大気圧プラズマ生成装置

SiC搭載インバータ電源を用いた準大気圧プラズマ生成装置

高繰り返し負極性ナノ秒パルスプラズマ

高繰り返し負極性ナノ秒パルスプラズマ

特許情報

特許情報1 発明の名称
出願予定
特許情報1 出願人
特許情報1 発明者
特許情報1 出願日
特許情報1 出願番号

お問い合わせ先

兵庫県立大学 大学院 工学研究科 電気物性工学専攻 准教授 菊池祐介

電話:079-267-4880   FAX:079-267-4855  

URL:http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/faculty/ykikuchi/index.html

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