イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
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ナノテクノロジー

兵庫県立大学 大学院工学研究科 電子情報工学専攻

豊田 紀章 准教授

小間N-32

ガスクラスターイオンビームによる原子層エッチング

University of Hyogo

Associate professor Noriaki Toyoda

Atomic Layer Etching with Gas Cluster Ion Beams

9 産業と技術革新の 基盤をつくろう
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
ナノテクノロジー
小間番号
N-32

展示概要

技術概要
数eV/atomといった超低エネルギービームであるガスクラスターイオンビーム(GCIB)を用いて原子層エッチングを行う世界初の技術を紹介する。具体的には、反応性ガスの表面吸着、反応性ガスの排気、表面層のGCIBによる除去という一連のエッチング行程を繰り返して行うことにより、原子層オーダーでのエッチングを行うものである。GCIB照射では超高密度エネルギー付与が可能なため、単原子イオンを用いた既存の原子層エッチング技術では実現できない原子層エッチングが期待される。

想定される活用例
・二次元層状物質(グラフェン、MoS2など)の原子層エッチング
・ポリマーなど損傷が入りやすい材料の原子層エッチング
・位置制御照射による原子レベルでの面内分布補正

 

展示のみどころ
数eV/atomといった超低エネルギービームであるガスクラスターイオンビーム(GCIB)を用いて原子層エッチングを行う世界初の技術を紹介します。反応性ガスの表面吸着、反応性ガスの排気、表面層のGCIBによる除去を繰り返して行うことにより、原子層オーダーでのエッチングが可能です。GCIB照射では超高密度エネルギー付与が可能なため、既存の原子層エッチング技術では実現できない原子層エッチングが期待できます。

 

GCIB-ALE

GCIB-ALE

酢酸と酸素GCIBを用いたCuエッチング深さの時間変化

酢酸と酸素GCIBを用いたCuエッチング深さの時間変化

特許情報

特許情報1 発明の名称
エッチング方法、エッチング装置、および記憶媒体
特許情報1 出願人
東京エレクトロン、兵庫県
特許情報1 発明者
原謙一、山田公、豊田紀章、早川崇
特許情報1 出願日
2012/7/11
特許情報1 出願番号
特願2012-155696 特開2013-080901

お問い合わせ先

兵庫県立大学産学連携・研究推進機構

電話:079-283-4560   FAX:079-283-4561  

URL:http://www.u-hyogo.ac.jp/research/

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