イノベーション・ジャパン2017 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
Innovation Japan 2017
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超スマート社会

愛知工業大学 工学部 機械学科

生津 資大 教授

小間S-07

ナノ~薄膜材料の機械信頼性実測技術

Aichi Institute of Technology

Professor Takahiro Namazu

Mechanical Reliability Evaluation Technologies for Nano and Thin Film Materials

17 パートナーシップで 目標を達成しよう
出展ゾーン
大学等シーズ展示
出展分野
超スマート社会
小間番号
S-07

展示概要

技術概要
カーボンナノチューブに代表されるナノ材料は,次世代のエレクトロニクス材料として期待されている.最近では名大・伊丹教授らによりカーボンナノベルトの合成が実現し,宇宙エレベーター構想実現に向けた第一歩となった.ナノ材料の実用には機械信頼性を実測する技術が不可欠である.一方,MEMSや電子デバイスには薄膜材料が多用され,その機械物性ならびに疲労寿命の評価技術の確立が切望されている.今回,電子顕微鏡内で動作するMEMS技術援用ナノ引張試験システムと薄膜材料引張試験システムの2つの新規実験技術を出展する.

想定される活用例
・カーボンナノチューブの機械物性定量取得(実施例:単層カーボンナノチューブのヤング率1TPa,強度100GPa超の実測に成功)
・薄膜材料のき裂進展その場観察寿命試験

 

展示のみどころ
カーボンナノチューブ等のナノ材料の引張試験をSEM内で実現する引張試験デバイスを展示する.また,薄膜材料のSEM内引張試験のための実験装置ならびに試験片を展示する.マイクロ~ナノ材料物性取得のための機械工学研究開発の一端を紹介する.

 

ナノ引張試験技術(SEM内でナノワイヤ状サンプルの引張試験が可能)

ナノ引張試験技術(SEM内でナノワイヤ状サンプルの引張試験が可能)

薄膜引張試験技術(SEM内で薄膜材料の準静的/動的引張試験が可能)

薄膜引張試験技術(SEM内で薄膜材料の準静的/動的引張試験が可能)

特許情報

特許情報1 発明の名称
薄膜状材料のポアソン比測定方法とそのための測定装置
特許情報1 出願人
兵庫県
特許情報1 発明者
生津資大
特許情報1 出願日
2007/1/19
特許情報1 出願番号
2007-010242
特許情報2 発明の名称
薄膜試験片構造体, その製造方法, その引張試験方法及び引張試験装置
特許情報2 出願人
兵庫県
特許情報2 発明者
生津資大, 長井悠宰
特許情報2 出願日
2007/12/27
特許情報2 出願番号
2007-335667
特許情報3 発明の名称
薄膜の機械的特性測定装置及び測定方法
特許情報3 出願人
兵庫県, 神港精機㈱, (財)新産業創造研究機構
特許情報3 発明者
生津資大, 竹内達也, 村上幸平
特許情報3 出願日
2009/2/23
特許情報3 出願番号
2009-39412

お問い合わせ先

愛知工業大学工学部機械学科 生津資大

電話:0565-48-8121   FAX:0565-48-4555  

URL:http://aitech.ac.jp/~namazu/home.html

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